2024年11月17日,2024求是缘半导体联盟产业峰会暨年会-制造供应链与第三代半导体技术分论坛在苏州福朋喜来登酒店隆重举办。
求是缘半导体联盟理事、浙江大学材料科学与工程学院、杭州国际科创中心双聘教授张辉主持本场论坛。
魅杰光电科技(上海)有限公司销售副总林哲,发表了题为《碳化硅功率半导体的挑战与机遇》的演讲。
林哲强调,从2021年到2027年,功率器件市场预计将以年复合增长率11%的速度增长,其中碳化硅的增长率高达15%。同时,提升产品良率对企业增长具有极大的重要性,特别是在电动汽车领域。
魅杰光电作为半导体检测设备商,致力于提升产品良率,助力行业发展。公司自2015年成立以来,在无图缺陷检测设备等关键设备上取得突破,受到多家资本方支持,拥有众多专利,以及高新企业技术证书等荣誉。在技术路线与工艺制程方面,魅杰光电设备的适用制程,从0.35微米逐渐发展到现在的先进节点。
山东大学研究员彭燕,发表了题为《金刚石材料的研究进展》的演讲。
彭燕表示,山东大学晶体材料国家重点实验室自1958年开展晶体材料研究工作,多年来致力于半导体材料的研发,从二代纳米材料到超宽禁带材料如氧化镓等均有涉足。特别是在碳化硅领域,实验室自2000年左右开始研发,已取得显著成果,并成功应用于电动汽车等领域。
此外,实验室还积极探索金刚石这一“终极半导体材料”的应用潜力,通过不同方法如高温高压法和微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)进行金刚石材料的制备,并在尺寸、质量和掺杂控制等方面取得重要进展。
金刚石因其优异的耐压、耐温和散热性能,在半导体器件、高功率器件及散热材料等方面具有广阔的应用前景。目前,山东大学已在金刚石的生长、加工、器件制备及应用等方面开展了深入研究,并取得了一系列创新成果。未来,实验室将继续聚焦新型半导体材料的研发与应用,为推动我国半导体产业的持续发展贡献力量。
浙江大学特聘研究员王珩宇,发表了题为《碳化硅超级结系列器件技术》的演讲。
王珩宇指出,在双碳背景下,全球碳排放量持续增长,迫切需要绿色科技和高效变换装置来降低碳排放。超级节技术可以使电阻分布更加均匀,提高器件的耐压能力和降低工艺损耗。尽管该技术在理论上具有显著优势,但在实际应用中仍面临许多挑战。最后,王珩宇表示,希望通过进一步的研究和创新,能够推动技术在实际器件中的广泛应用,为绿色科技和半导体行业的发展做出贡献。
华中科技大学研究员梁琳,发表了题为《压控型功率半导体器件状态感知研究进展》的演讲。
她讲到,目前华中科技大学电气学院拥有两个国家级重点实验室,其中功率半导体器件是一个重要研究方向,主要聚焦于压控型功率半导体器件的状态感知问题,包括结温感知和退化感知两方面,其中“退化感知”是研究的重点。
在退化感知方面,梁琳介绍了芯片层面和封装层面的退化感知方法,并详细阐述了团队所做的研究工作。她提到,团队通过仿真和实验验证了一种基于双参数的监测方法,该方法能够同时监测结温和老化状态,具有较高的准确性和可靠性。这些研究工作对于提高功率半导体器件的可靠性和长期运行稳定具有重要意义。
杭州飞仕得科技股份有限公司设备事业部首席技术官刘伟,发表了题为《创新测试技术助力功率器件产业高质量发展》的演讲。
刘伟表示,当前,数据中心、AI数据处理以及电动汽车发展对碳化硅器件市场起到极大的推动作用。预计到2040年,两大产业方向将消耗约4000TWh的能量,占发电和用电总量的25%左右。碳化硅材料因具有高电场强度和高热导率,成为高效用能领域的关键材料,但其应用仍面临诸多挑战,如材料本身的缺陷、测试与筛选技术的瓶颈等。
飞仕得公司针对这些挑战,提出了从晶圆级到应用级的全面测试与筛选解决方案,包括晶圆级的同步多探针下压测试、多维度筛选算法、动态及静态双脉冲实验等。同时,公司在碳化硅器件测试装备研发方面取得多项成果,包括针对车规级、光伏和储能等领域的应用解决方案。
短暂休息后,求是缘半导体联盟副秘书长、集成电路材料创新联合体秘书长冯黎主持了以“新应用新工艺推动制造供应链创新发展”为主题的圆桌论坛,邀请了:
彭燕,山东大学研究员
任佳,上海新微科技发展有限公司董事长兼总经理
吴慧明,浙江泓芯新材料股份有限公司董事长兼总经理
张志军,迅势科技(苏州)有限公司创始人
嘉宾们基于自身经验,对人工智能推动应用发展、产教融合及人才培养、设备技术创新与国产化等话题进行深入讨论。
当前,人工智能正在加速多个应用领域的发展,2030年前后人工智能将极大推动集成电路和高科技领域的发展,AI识别材料细节面积达到96%的精确度,为材料研究提供了巨大的便利,自动化和人工智能工具正在被工业界积极引入,以优化生产流程和提高产品质量。
同时,高校在培养交叉学科、跨界创新人才方面具有极大的重要性,以满足企业对复合型人才的需求,未来需要进一步加强企业在产教融合中的角色,推动科研成果的商业化,从0到1的科技创新需要进行概念验证,这个过程需要设备和产业的互动,同时也需要学校科研机构的支持。而设备技术创新是推动产业发展的关键,特别是在材料科学和工艺制造领域。国产化之路不仅仅是国产替代,更是深度国产化,包括设备技术的全面自主化。
现场联盟会员为嘉宾们精彩纷呈的观点和实事求是的分析报以热烈掌声,论坛在意犹未尽的热切讨论中落下帷幕。
2025年,我们十周年再相会!
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